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安捷伦7500型电感耦合等离子质谱仪

安捷伦7500型电感耦合等离子质谱仪

电感耦合等离子伸质谱-ICP-MS,是一种新型的无机元素和同位素分析技术,可快速同时检测周期表上几乎所有元素。ICP-MS技术在分析 能力上,超过传统的无机分析...

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  安捷伦7500系列具有自动化的易于使用、可靠性以及设计,它提供了高水平的分析性能。新的7500系列可配备二代八级杆反应池(ORS)技术,提供多种选择的进样附件、更好的应用与维修服务支持,它正在使得实验室进入ICP-MS时代;

  半导体工业常用材料中超痕量污染物分析:

  固体:Si;GaAa单晶切片;石英、碳化硅等炉材料等

  Agilent ICP-MS的高功率矩冷等离子体技术已被用于测定一系列ppt级痕量污染元素。

  ● 对其中一些样品,其他方法无法得到满意的结果,高功率矩冷等离子体技术是*一种分析方法。

  ● 强碱性清洗剂——四甲基氢氧化氨(TMAH)等

  ● 高基体样品——光刻胶、液晶、BPSG、PSG等挥发强的清洗剂